Leistungsbeschreibung – Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
Wir bieten die Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) als hochsensitive Methode zur zerstörungsfreien Elementanalyse von Oberflächen an. Das Verfahren zählt zu den oberflächenempfindlichsten Analysetechniken und ermöglicht die Untersuchung von nur wenigen Atomlagen.
Durch den Beschuss der Oberfläche mit Elektronen oder hochenergetischer Strahlung werden Auger-Elektronen mit materialspezifischer kinetischer Energie emittiert. Diese werden analysiert und als Spektrum dargestellt, wodurch eine eindeutige Elementzuordnung und Konzentrationsbestimmung möglich ist.
Leistungsumfang
- Hochauflösende Elementanalyse der obersten Materialschichten
- Erstellung von Auger-Spektren zur Identifikation chemischer Elemente
- Quantitative und qualitative Oberflächenanalyse
- Untersuchung von Kontaminationen und Verunreinigungen
- Analyse kleinster Bereiche im Mikro- und Nanometerbereich
- Nachweisgrenzen unter 0,1 at%
- Normgerechte Dokumentation der Ergebnisse
Typische Anwendungen
- Halbleitertechnik und Mikroelektronik
- Metallische Werkstoffe und Oberflächen
- Analyse von Klebe- und Fügeverbindungen
- Untersuchung elektrischer Kontakte
- Schadensanalyse und Kontaminationsprüfung
Ihr Vorteil
Die Auger-Elektronen-Spektroskopie ermöglicht eine extrem oberflächennahe, hochpräzise Elementanalyse bis in den Nanometerbereich, ideal für anspruchsvolle Material- und Reinheitsanalysen in High-Tech-Anwendungen.