Die EDX-Analyse (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) ist ein etabliertes Verfahren zur Bestimmung der chemischen Elementzusammensetzung von Materialien. Sie wird in der Regel in Kombination mit einem Elektronenmikroskop eingesetzt und ermöglicht eine schnelle und ortsaufgelöste Analyse der in einer Probe enthaltenen Elemente.
Die Methode basiert darauf, dass die Probe mit einem fokussierten Elektronenstrahl angeregt wird. Dadurch entstehen charakteristische Röntgenstrahlen, deren Energie elementspezifisch ist. Diese Strahlung wird detektiert und ausgewertet, sodass die chemische Zusammensetzung der untersuchten Bereiche bestimmt werden kann.
Im Rahmen der EDX-Analytik stehen verschiedene Auswertungsformen zur Verfügung:
- EDX-Spektrum
Darstellung der detektierten Röntgenintensitäten über der Energie. Die charakteristischen Peaks ermöglichen die Identifikation der enthaltenen Elemente. - EDX-Punktanalyse
Untersuchung eines definierten Punktes auf der Probe zur Bestimmung der lokalen chemischen Zusammensetzung, z. B. an Partikeln oder Fehlstellen. - Quantitative EDX-Analyse
Bestimmung der elementaren Konzentrationen in Gewichts- oder Atomprozent. Die Auswertung erfolgt unter Berücksichtigung geeigneter Kalibrierungen und Korrekturen. - EDX-Mapping
Flächenhafte Darstellung der Elementverteilung innerhalb einer Probe. Die Ergebnisse werden als farbcodierte Karten visualisiert und zeigen die räumliche Verteilung einzelner Elemente.
Die EDX-Analyse liefert damit wertvolle Informationen zur Materialzusammensetzung, zur Identifikation von Verunreinigungen, Phasenzusammensetzungen und zur Bewertung von Schadensursachen in technischen Bauteilen.
